Enny Kusumawati, E.K. and Eddy Yahya, E.Y. 2025. Homogenitas Ketebalan, Konduktivitas Listrik dan Band Gap Lapisan Tipis a-Si:H tipe-p dan tipe-p Doping Delta yang dideposisi dengan Sistem PECVD: Enny Kusumawati, Eddy Yahya. Jurnal Fisika dan Aplikasinya. 8, 1 (May 2025). DOI:https://doi.org/10.12962/j24604682.v8i1.3895.