Yoyok Cahyono, Y.C. 2025. Studi Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) dengan menggunakan Target Tak Planar: Yoyok Cahyono. Jurnal Fisika dan Aplikasinya. 6, 2 (May 2025). DOI:https://doi.org/10.12962/j24604682.v6i2.3925.