Elang J. S., E.J.S. et al. 2025. Preparasi Penumbuhan Lapisan Tipis a-Si:H dengan Metode HWC-VHF-PECVD pada Variasi Daya rf: Elang J. S., Satwiko S., T. Winata. Jurnal Fisika dan Aplikasinya. 5, 2 (May 2025). DOI:https://doi.org/10.12962/jfa.v5i2.3940.