Enny Kusumawati, E. K.; Eddy Yahya, E. Y. Homogenitas Ketebalan, Konduktivitas Listrik Dan Band Gap Lapisan Tipis a-Si:H Tipe-P Dan Tipe-P Doping Delta Yang Dideposisi Dengan Sistem PECVD: Enny Kusumawati, Eddy Yahya. J.Fis. dan Apl. 2025, 8.