Elang J. S., E. J. S.; Satwiko S., S. S.; T. Winata, T. W. Preparasi Penumbuhan Lapisan Tipis a-Si:H Dengan Metode HWC-VHF-PECVD Pada Variasi Daya Rf: Elang J. S., Satwiko S., T. Winata. J.Fis. dan Apl. 2025, 5.