D. Adisaputra, D. A.; Satwiko Sidopekso, S. S.; T. Winata, T. W. Optimasi Sifat-Sifat Fisis Lapisan Tipis a-SiGe:H Dengan Metoda HW-Cell-PECVD: D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso, T. Winata. J.Fis. dan Apl. 2025, 5.