Elang J. S., E. J. S., Satwiko S., S. S., & T. Winata, T. W. (2025). Preparasi Penumbuhan Lapisan Tipis a-Si:H dengan Metode HWC-VHF-PECVD pada Variasi Daya rf: Elang J. S., Satwiko S., T. Winata. Jurnal Fisika Dan Aplikasinya, 5(2). https://doi.org/10.12962/jfa.v5i2.3940