D. Adisaputra, D. A., Satwiko Sidopekso, S. S., & T. Winata, T. W. (2025). Optimasi Sifat-Sifat Fisis Lapisan Tipis a-SiGe:H dengan Metoda HW-Cell-PECVD: D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso, T. Winata. Jurnal Fisika Dan Aplikasinya, 5(1). https://doi.org/10.12962/jfa.v5i1.3950