ENNY KUSUMAWATI, Enny Kusumawati; EDDY YAHYA, Eddy Yahya. Homogenitas Ketebalan, Konduktivitas Listrik dan Band Gap Lapisan Tipis a-Si:H tipe-p dan tipe-p Doping Delta yang dideposisi dengan Sistem PECVD: Enny Kusumawati, Eddy Yahya. Jurnal Fisika dan Aplikasinya, [S. l.], v. 8, n. 1, 2025. DOI: 10.12962/j24604682.v8i1.3895. Disponível em: https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3895. Acesso em: 31 jul. 2026.