YOYOK CAHYONO, Yoyok Cahyono. Studi Plasma Immersion Ion Implantation (PIII) dengan menggunakan Target Tak Planar: Yoyok Cahyono. Jurnal Fisika dan Aplikasinya, [S. l.], v. 6, n. 2, 2025. DOI: 10.12962/j24604682.v6i2.3925. Disponível em: https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3925. Acesso em: 1 aug. 2026.