ELANG J. S., Elang J. S.; SATWIKO S., Satwiko S.; T. WINATA, T. Winata. Preparasi Penumbuhan Lapisan Tipis a-Si:H dengan Metode HWC-VHF-PECVD pada Variasi Daya rf: Elang J. S., Satwiko S., T. Winata. Jurnal Fisika dan Aplikasinya, [S. l.], v. 5, n. 2, 2025. DOI: 10.12962/jfa.v5i2.3940. Disponível em: https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3940. Acesso em: 2 aug. 2026.