D. ADISAPUTRA, D. Adisaputra; SATWIKO SIDOPEKSO, Satwiko Sidopekso; T. WINATA, T. Winata. Optimasi Sifat-Sifat Fisis Lapisan Tipis a-SiGe:H dengan Metoda HW-Cell-PECVD: D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso, T. Winata. Jurnal Fisika dan Aplikasinya, [S. l.], v. 5, n. 1, 2025. DOI: 10.12962/jfa.v5i1.3950. Disponível em: https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3950. Acesso em: 1 aug. 2026.