Elang J. S., E. J. S., Satwiko S., S. S. and T. Winata, T. W. (2025) “Preparasi Penumbuhan Lapisan Tipis a-Si:H dengan Metode HWC-VHF-PECVD pada Variasi Daya rf: Elang J. S., Satwiko S., T. Winata”, Jurnal Fisika dan Aplikasinya, 5(2). doi: 10.12962/jfa.v5i2.3940.