D. Adisaputra, D. A., Satwiko Sidopekso, S. S. and T. Winata, T. W. (2025) “Optimasi Sifat-Sifat Fisis Lapisan Tipis a-SiGe:H dengan Metoda HW-Cell-PECVD: D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso, T. Winata”, Jurnal Fisika dan Aplikasinya, 5(1). doi: 10.12962/jfa.v5i1.3950.