D. A. D. Adisaputra, S. S. Satwiko Sidopekso, and T. W. T. Winata, “Optimasi Sifat-Sifat Fisis Lapisan Tipis a-SiGe:H dengan Metoda HW-Cell-PECVD: D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso, T. Winata”, J.Fis. dan Apl., vol. 5, no. 1, May 2025.