D. Adisaputra, D. Adisaputra, et al. “Optimasi Sifat-Sifat Fisis Lapisan Tipis a-SiGe:H Dengan Metoda HW-Cell-PECVD: D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso, T. Winata”. Jurnal Fisika Dan Aplikasinya, vol. 5, no. 1, May 2025, doi:10.12962/jfa.v5i1.3950.