Elang J. S., Elang J. S., Satwiko S. Satwiko S., and T. Winata T. Winata. “Preparasi Penumbuhan Lapisan Tipis a-Si:H Dengan Metode HWC-VHF-PECVD Pada Variasi Daya Rf: Elang J. S., Satwiko S., T. Winata”. Jurnal Fisika dan Aplikasinya 5, no. 2 (May 8, 2025). Accessed August 2, 2026. https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3940.