D. Adisaputra, D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso Satwiko Sidopekso, and T. Winata T. Winata. “Optimasi Sifat-Sifat Fisis Lapisan Tipis a-SiGe:H Dengan Metoda HW-Cell-PECVD: D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso, T. Winata”. Jurnal Fisika dan Aplikasinya 5, no. 1 (May 8, 2025). Accessed August 1, 2026. https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3950.