Enny Kusumawati EK, Eddy Yahya EY. Homogenitas Ketebalan, Konduktivitas Listrik dan Band Gap Lapisan Tipis a-Si:H tipe-p dan tipe-p Doping Delta yang dideposisi dengan Sistem PECVD: Enny Kusumawati, Eddy Yahya. J.Fis. dan Apl. [Internet]. 2025 May 8 [cited 2026 Aug. 1];8(1). Available from: https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3895