Elang J. S. EJS, Satwiko S. SS, T. Winata TW. Preparasi Penumbuhan Lapisan Tipis a-Si:H dengan Metode HWC-VHF-PECVD pada Variasi Daya rf: Elang J. S., Satwiko S., T. Winata. J.Fis. dan Apl. [Internet]. 2025 May 8 [cited 2026 Aug. 2];5(2). Available from: https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3940