D. Adisaputra DA, Satwiko Sidopekso SS, T. Winata TW. Optimasi Sifat-Sifat Fisis Lapisan Tipis a-SiGe:H dengan Metoda HW-Cell-PECVD: D. Adisaputra, Satwiko Sidopekso, T. Winata. J.Fis. dan Apl. [Internet]. 2025 May 8 [cited 2026 Aug. 1];5(1). Available from: https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/3950