Sri Yani Purwaningsih SYP, Karyono K, Sudjatmoko S. Efek Doping Al pada Sifat Optik dan Listrik Lapisan Tipis ZnO Hasil Deposisi dengan DC Sputtering: Sri Yani Purwaningsih, Karyono, Sudjatmoko. J.Fis. dan Apl. [Internet]. 2025 May 8 [cited 2026 Aug. 2];1(1). Available from: https://journal.its.ac.id/index.php/jfa/article/view/4149