Pengaruh Luas Kontak pada Kualitas MSM pGaSb Euis Sustini, Hery Saeful Azis, Heri Sutanto, Agus Subagyo

Abstract

Dalam tulisan ini film tipis semikonduktor GaSb telah ditumbuhkan dengan metoda MOCVD vertikal pada tekanan 50 torr di atas subtsrat SI GaAs(100). Film mempunyai type p dengan permukaan yang cukup homogen serta orientasi film didominasi (200). Film yang ditumbuhkan pada temperatur 520 oC dengan rasio V/III=1 mempunyai mobilitas 68,57 cm²/Vs dan konsentrasi 1,9 x 1018 cm^-3 . Metal Semikonduktor Metal (MSM) Al-pGaSb telah dibuat menggunakan dua metoda, yaitu metoda sederhana evaporasi dengan luas kontak 0,02 cm² dan metoda UV litografi dengan luas kontak 0,009 cm² . MSM bersifat ohmik kontak dengan resistansi spesifik Rc menurun terhadap luas kontak yang digunakan.